東京エレクトロン(TEL)は7月11日、子会社の米TEL NEXXがLEDメーカーのアジア製造拠点にPVD装置「Apollo」を納入したと発表した。高輝度LEDの製造では、従来の蒸着に代わり、より薄膜制御が可能なPVD装置の採用が進んでいるという。Apolloは、優れたウェーハ面内・ウェーハ間の均一性で、非常に薄い金属膜を形成することができる。
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